第一部分行业发展现状 9
第一章半导体制造装备行业发展概述 9
第一节半导体制造装备行业定义及分类 9
一、行业定义 9
二、行业主要产品分类 9
三、行业主要商业模式 9
第二节半导体制造装备行业特征分析 9
一、产业链分析 9
二、半导体制造装备行业在国民经济中的地位 10
第三节半导体制造装备行业发展阶段分析 10
第二章半导体制造装备行业技术现状与趋势 11
第一节半导体制造装备材料与外延技术现状及趋势 11
一、设备技术现状及趋势 11
二、衬底现状及趋势 11
三、外延技术现状及趋势 13
四、无荧光粉单芯片白光LED技术 14
五、其他颜色LED技术现状及趋势 14
第二节半导体制造装备工艺现状及趋势 15
一、正装芯片 15
二、垂直结构芯片 16
三、倒装芯片 17
四、高压交/直流驱动LED 17
五、CSP（芯片级封装） 18
第三章全球半导体制造装备行业发展分析 19
第一节全球半导体制造装备行业特点分析 19
第二节全球半导体制造装备行业规模分析 20
一、全球LED行业MOCVD数量分析 20
二、全球半导体制造装备行业产值规模分析 20
第三节国外半导体制造装备典型企业分析 20
第四章我国半导体制造装备行业发展分析 24
第一节我国半导体制造装备行业发展状况分析 24
一、我国半导体制造装备行业发展周期性 24
二、我国半导体制造装备行业发展总体概况 24
三、我国半导体制造装备行业发展特点分析 24
第二节我国半导体制造装备行业市场供需状况 24
一、我国半导体制造装备行业市场供给分析 24
二、我国半导体制造装备行业市场需求分析 25
三、我国半导体制造装备行业产品价格分析 25
第三节我国半导体制造装备市场价格走势分析 26
一、半导体制造装备市场定价机制组成 26
二、半导体制造装备市场价格影响因素 26
第五章中国半导体制造装备行业应用市场分析 27
第一节半导体制造装备主要应用领域分析 27
第二节背光市场现状及趋势分析 27
一、背光市场现状分析 27
二、背光市场规模分析 29
三、背光市场竞争格局 29
四、背光市场趋势分析 29
第三节显示屏市场现状及趋势分析 30
一、显示屏市场现状分析 30
二、显示屏市场规模分析 31
三、显示屏市场竞争格局 31
四、显示屏市场趋势分析 31
第四节照明市场现状及趋势分析 32
一、照明市场现状分析 32
二、照明市场规模分析 33
三、照明市场竞争格局 33
四、照明市场趋势分析 33
第五节其他应用市场现状及趋势分析 34
一、LED植物照明 34
二、LED汽车照明 34
三、UV LED应用 35
第二部分行业竞争格局 36
第六章半导体制造装备行业竞争格局分析 36
第一节中国半导体制造装备企业数量分析 36
第二节中国半导体制造装备产业基地分析 37
一、中国半导体制造装备产业基地进入时间 37
二、中国半导体制造装备产业基地区域分布 37
三、中国半导体制造装备产业基地资金来源 38
四、中国半导体制造装备领域扶持政策分析 38
第三节中国半导体制造装备行业竞争格局分析 38
第四节中国半导体制造装备行业竞争趋势分析 39
一、内部竞争趋势 39
二、外部竞争趋势 39
第七章半导体制造装备行业上下游产业分析 40
第一节半导体制造装备产业结构分析 40
第二节上游产业分析 40
一、发展现状 40
二、发展趋势预测 41
三、行业竞争状况及其对半导体制造装备行业的意义 41
第三节下游产业分析 41
一、发展现状 41
二、发展趋势预测 43
三、行业新动态及其对半导体制造装备行业的影响 43
四、行业竞争状况及其对半导体制造装备行业的意义 44
五、产业结构调整方向分析 45
第八章中国半导体制造装备行业主要企业调研分析 46
第一节北方华创科技集团股份有限公司 46
一、企业概况 46
二、企业竞争优势 46
三、企业经营状况分析 47
四、企业发展战略 48
第二节中电科电子装备集团有限公司 48
一、企业概况 48
二、企业竞争优势 48
三、企业经营状况分析 49
四、企业发展战略 50
第三节拓荆科技股份有限公司 50
一、企业概况 50
二、企业竞争优势 50
三、企业经营状况分析 50
四、企业发展战略 51
第四节沈阳芯源微电子设备股份有限公司 51
一、企业概况 51
二、企业竞争优势 52
三、企业经营状况分析 54
四、企业发展战略 55
第五节华海清科股份有限公司 55
一、企业概况 55
二、企业竞争优势 56
三、企业经营状况分析 58
四、企业发展战略 58
第六节上海微电子装备（集团）股份有限公司 59
一、企业概况 59
二、企业竞争优势 59
三、企业经营状况分析 59
四、企业发展战略 60
第七节中微半导体设备（上海）股份有限公司 60
一、企业概况 60
二、企业竞争优势 61
三、企业经营状况分析 63
四、企业发展战略 63
第八节盛美半导体设备（上海）股份有限公司 64
一、企业概况 64
二、企业竞争优势 65
三、企业经营状况分析 69
四、企业发展战略 69
第九节睿励科学仪器（上海）有限公司 70
一、企业概况 70
二、企业竞争优势 70
三、企业经营状况分析 70
四、企业发展战略 71
第十节大恒新纪元科技股份有限公司 71
一、企业概况 71
二、企业竞争优势 75
三、企业经营状况分析 77
四、企业发展战略 78
第三部分行业前景分析 79
第九章半导体制造装备行业发展趋势分析 79
第一节 产业发展环境展望 79
第二节 我国半导体制造装备行业趋势分析 80
一、我国半导体制造装备行业发展趋势分析 80
二、我国半导体制造装备行业市场发展空间 81
三、我国半导体制造装备行业政策趋向 81
四、行业竞争格局展望 82
五、半导体制造装备市场规模预测 82
第三节影响企业生产与经营的关键趋势 83
一、市场整合成长趋势预测分析 83
二、需求变化趋势及新的商业机遇预测分析 83
三、科研开发趋势及替代技术进展 83
四、影响企业销售与服务方式的关键趋势预测分析 83
第十章 中国半导体制造装备的投资风险与投资建议 85
第一节 中国半导体制造装备制造行业的投资风险 85
一、市场风险 85
二、政策风险 85
三、技术风险 85
四、行业进入、退出壁垒 85
五、部分产品产能过剩潜在风险 86
第二节 中国半导体制造装备制造行业的投资建议 86
一、中国半导体制造装备制造行业的重点投资区域 86
二、中国半导体制造装备制造行业的重点投资产品 86
三、行业投资建议 87
第三节 中国半导体制造装备项目投资可行性分析 89
第十一章研究结论及发展建议 90
第一节半导体制造装备行业研究结论 90
第二节半导体制造装备行业发展建议 90
图表目录

图表 1：半导体制造装备行业产业链结构情况 10
图表 2：行业生命周期主要特征列表 11
图表 3：全球LED行业MOCVD保有量情况单位：台 21
图表 4：全球半导体制造装备行业产值规模情况单位：亿美元 21
图表 5：半导体制造装备行业供给规模情况单位：亿元 26
图表 6：半导体制造装备行业需求规模情况单位：亿元 26
图表 7：半导体制造装备应用领域情况 28
图表 8：背光模组产业链构成 29
图表 9：背光市场规模情况单位：亿元 30
图表 10：显示屏市场规模情况单位：亿元 32
图表 11：照明市场规模情况单位：亿元 34
图表 12：半导体制造装备企业数量情况单位：家 37
图表 13：半导体制造装备产业基地进入时间 38
图表 14：半导体制造装备产业基地区域分布 38
图表 15：半导体制造装备产业基地资金来源 39
图表 16：集成电路行业市场规模情况单位：亿元 43
图表 17：北方华创科技集团股份有限公司经营情况单位：亿元 48
图表 18：北方华创科技集团股份有限公司财务分析 48
图表 19：中电科电子装备集团有限公司经营情况单位：亿元 50
图表 20：中电科电子装备集团有限公司财务分析 50
图表 21：拓荆科技股份有限公司经营情况单位：亿元 51
图表 22：拓荆科技股份有限公司财务分析 52
图表 23：沈阳芯源微电子设备股份有限公司经营情况单位：亿元 55
图表 24：沈阳芯源微电子设备股份有限公司财务分析 56
图表 25：华海清科股份有限公司经营情况单位：亿元 59
图表 26：华海清科股份有限公司财务分析 59
图表 27：上海微电子装备（集团）股份有限公司经营情况单位：亿元 60
图表 28：上海微电子装备（集团）股份有限公司财务分析 61
图表 29：中微半导体设备（上海）股份有限公司经营情况单位：亿元 64
图表 30：中微半导体设备（上海）股份有限公司财务分析 64
图表 31：盛美半导体设备（上海）股份有限公司经营情况单位：亿元 70
图表 32：盛美半导体设备（上海）股份有限公司财务分析 70
图表 33：睿励科学仪器（上海）有限公司经营情况单位：万元 71
图表 34：睿励科学仪器（上海）有限公司财务分析 72
图表 35：大恒新纪元科技股份有限公司经营情况单位：亿元 78
图表 36：大恒新纪元科技股份有限公司财务分析 78
图表 37：半导体制造装备行业供需规模预测单位：亿元 84
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